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超高真空激光等离子体实验系统

所属类别：真空系统

超高真空热解吸实验系统如图所示，主要功能是在超高真空下采用样品加热平台加热固体样品释放驻留的气体，由高分辨率四极质谱仪在线测量释放气体并研究其释放特性。可测试样品的最大直径Φ20mm、最大厚度3mm。样品背面最高加热温度1100℃（1323K），测量误差≤5℃；样品表面边缘测温温度可达850℃（1123K）。加热体可实现线性升温速率，范围为0.1K/min至100K/min。该系统主要由主真空腔、样品准备腔、气体漏孔与储气室、真空获得设备以及测控系统等组成，由主真空腔可实现5.0E-7Pa动态真空度。

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详细内容

超高真空激光等离子体实验系统装置实物如图所示，主要功能是在超真空工况下实现激光加热样品并采用高精度四极质谱仪测量。该装置主要由双真空腔室组成，主要设备与部件包括：双真空室（即主真空室与样品准备室）、高真空插板阀；加热脱附样品台；进样机构；快开门观察窗；电极-真空贯穿部件；四极质谱（QMS）气体分析仪；气体漏孔与储气容器；真空、温度测量元件；测控柜。真空室部件材料选用电真空熔炼316L不锈钢材料，内表面电解抛光，整体结构可承受150℃烘烤。主腔室和进样室的漏率均低于5E- 10Pa3/s。主腔室动态真空度达到5.1E-7Pa；进样室动态真空度达到2.4E-6Pa。