超高真空热解吸实验系统
所属类别：真空系统
超高真空热解吸实验系统如图所示，主要功能是在超高真空下采用样品加热平台加热固体样品释放驻留的气体，由高分辨率四ji质谱仪在线测量释放气体并研究其释放特性。可测试样品的直径Φ20mm、厚度3mm。样品背面加热温度1100℃（1323K），测量误差≤5℃；样品表面边缘测温温度可达850℃（1123K）。加热体可实现线性升温速率，范围为0.1K/min至100K/min。该系统主要由主真空腔、样品准备腔、气体漏孔与储气室、真空获得设备以及测控系统等组成，由主真空腔可实现5.0E-7Pa动态真空度。
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超高真空热解吸实验系统如图所示，主要功能是在超高真空下采用样品加热平台加热固体样品释放驻留的气体，由高分辨率四ji质谱仪在线测量释放气体并研究其释放特性。可测试样品的直径Φ20mm、厚度3mm。样品背面加热温度1100℃（1323K），测量误差≤5℃；样品表面边缘测温温度可达850℃（1123K）。加热体可实现线性升温速率，范围为0.1K/min至100K/min。该系统主要由主真空腔、样品准备腔、气体漏孔与储气室、真空获得设备以及测控系统等组成，由主真空腔可实现5.0E-7Pa动态真空度。
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